总则

1  使洁净厂房设计符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求，做到技术先进、经济适用、安全可靠，确保洁净厂房设计质量。

2  洁净厂房设计应是施工安装、维护管理、检修测试和安全运行的基础。

术语

1  洁净室clean room：空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。

2  洁净区：空气悬浮粒子浓度受控限定的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

3  移动式洁净小室：可整体移动位置的小型洁净室。有刚性和柔性材料围挡两类。

4 人身净化用室：人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

5  物料净化用室：物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。

6  粒径：给定的粒径测定仪器所显示的，与被测粒子的响应量 。

7  悬浮粒子：用于空气洁净度分级的空气悬浮粒子尺寸范围在0.1um-5um的固体和液体粒子，但不适用于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性及生命性。

8  超微粒子：具有当量直径小于0.1um的粒子。

9  微粒子：具有当量直径大于5um的粒子。

10  粒径分布：粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。

11  含尘浓度：单位体积空气中悬浮粒子的颗数。

12  洁净度：以单位体积空气中大于或等于某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。

13  气流流型：对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。

14  单向流：通过洁净室（区）整个断面的风速稳定、大致平行的受控气流。

15  垂直单向流：与水平面垂直的单向流。

16 水平单向流：与水平面平行的单向流。

17  非单向流：送入洁净室（区）的送风以诱导方式与室（区）内空气混合的气流分布类型。

18  混合流：单向流和非单向流组合的气流。

19  洁净工作区：除工艺特殊要求外，指洁净室内离地面高度0.8m-1.5m的区域。

20  空气吹淋室：利用高速洁净气流吹落并******进入洁净室人员表面附着的粒子的小室。

21  气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或淋室污染空气气流和压差控制而设置的缓冲间。

22  传递窗：在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧不能有同时开启的窗扇。

23  洁净工作台：能够保持操作空间所需洁净度的工作台。

24  洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制在***小程度所使用的发成量小的洁净服装。

25  空态：设施已经建成，其服务动力公用设施区接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。

26  静态：设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。

27  动态：设施以规定的方式运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。

28  已装过滤器检漏：为确认过滤器安装良好，没有向洁净室（区）的旁路渗漏，过滤器及其框架均无缺陷和渗漏所做的检测。

29  ******空气过滤器：HEPA(high efficiency particulate air filter）在额定风量下，对粒径大于或等于0.3um粒子的捕集效率

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