电子厂净化车间-行业解决方案

1-100级的电子厂净化车间，均采用单向流的气流组织送风方式，即电子厂净化车间内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使清洁空气象“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以***快的速度带走。要实现“活塞”的效果，******过滤器需要布满屋顶才可实现单向流的气流组织方式。 非单向流电子厂净化车间（1000-10万级）的气流组织方向和100级以上的电子厂电子厂净化车间不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。

一、净化车间结构材料

1. 净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2. 地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。

3. 送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4. 电子厂净化车间地面通常用PVC防静电地板、环氧树脂地坪漆、防静电高架地板居多。

二、设计依据及需求

1. 与生产工艺相关的数据和资料室内温湿度的基数和精度； 需要与工艺设计人员反复确认合理的参数，不要一味追求高标准，因为基数和精度对投资和运行费用有极大的影响，需满足工艺的要求。

2. 工程所在地的气象资料和周围环境资料；

3. 生产过程中会产生的废热和有毒有害的废气的相关资料；

a.确定废热气体的温度和排风的量。

b.有毒有害气体的浓度、温度和危害程度及排风的风量，并要考虑处理的对策。

c.有毒有害气体的具体化学成分。

d.确定废热气体的排放时间。

4. 生产工艺对电、水和特种气体、大宗气体的要求；

（1）高纯气体管径应按气体容许流量、压力或生产工艺设备确定，管外径不宜小于6mm，管厚不宜小于1mm；

（2）不得出现不易吹除的“盲管”等死空间；

（3）管道系统应设置吹扫口和取样口。

5. 工程建筑、结构和工艺设计的平剖面图

a. 工艺设计，电子厂净化车间装修用于的工艺种类繁多，但是，总的原则是生产工艺设备的安装和维修，生产工艺的流程，操作程 序，人员流动路线和物料传输布置时，应避免发生气流干扰和交叉污染的发生，了解生产工艺的生产时间。

b. 在满足生产工艺和微震、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度要求高的电子厂电子厂净化车间装修(区)宜靠近空调机房布置，空 气洁净度等级相同的工序或工作(区)宜集中布置。

c. 应根据工艺设计要求设置运输、安装、维修的通道或检修门。

d. 人员出入电子厂净化车间装修应该设置人员净化装置。

e. 物料，设备出入电子厂净化车间装修要设置净化设施，设置气闸室或传递窗。

f. 洁净区域内设置真空泵时，应有除油装置，尾气排放应接至室外，传输有可燃气体的系统，其浓度超过爆炸下限20%时应有尾气 处理装置，应去除或稀释可燃气体的成份，传输易燃自燃化学品或高浓度氧气时，应采用不燃的泵油，并配置氮气吹扫控制阀，并且与工艺设备的操作系统联锁。

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