（一）一般规定
1、 本章适用于洁净厂房内设计压力不大于是1MPa，设计温度不超过材料允许的使用温度的碳钢管道、不锈钢管道、工程塑料管道等配管工程的施工安装质量验收。
2、管道安装应具备下列条件：
（1）与配管工程相关的土建工程已检验验收合格，满足安装要求，并办理了交接手续；
（2）施工应按照工程设计文件进行；
（3）配管工程使用的材料、附件、设备等已检验合格，并有相应的产品出厂合格证书等。规格、型号及性能等应符合设计要求；
（4）管子、管件、阀门等内部已清理干净，无杂物。对管子内表面有特殊要求的管道，其质量符合设计文件要求，安装前已进行处理，并经检验合格。
3、阀门安装前，下列管道的阀门应逐个进行压力试验和严密性试验，不合格者，不得使用。
1 输送可燃流体、有毒流体管道的阀门；
2 输送高纯气体、高纯水管道的阀门；
3 输送特种气体管道、化学品管道的阀门。
4、除第7.1.3条规定范围外的各类流体管道的阀门安装前，应从每批中抽查20%，且不得少于2个，进行壳体压力试验和严密性试验。当不合格时，应加倍抽查，仍不合格时，该批阀门不得使用。
5、管道穿越洁净室（区）墙体、吊顶、楼板和特殊构造时，应符合下列：
（1）管道穿越伸缩缝、抗震缝、沉降缝时应采用柔性连接；
（2）管道穿越墙体、吊顶、楼板时应设置套管，套管与管道之间的间隙应采用不易产尘的不燃材料密封填实；
（3）管道接口、焊缝不得设在套管内。
6、安装于洁净室（区）的管道、支吊架材料应采用不易生锈、产尘的材料，外表面应光滑、易于清洁。
7、配管上的阀门、法兰、焊缝和各种连接件的设置应便于检修，并不得紧贴墙体、吊顶、地面、楼板或管架。对易燃、易爆、有毒、有害流体管道、高纯介质管道和有特殊要求管道的阀门、连接件应严格按设计图纸设置。
8、有静电接地要求的管道，各段管子间应导电，当管道法兰或螺纹连接处电阻值超过0.03Ω时，应设导线跨接。管道系统的对地电阻值超过100Ω时，应设两处接地引线。
（二） 碳素钢管道安装
1、 管道预制宜按工程设计图/管道系统单线图进行，并与现场实测核对后加工。自由管段和封闭管段的加工允许偏差应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。
2、 预制完毕的管段应按输送物料种类、设计图纸要求将管内外清理干净，并及时包好管口。
3、 管子切割，管子公称直径小于等于100mm时，采用机械或气割切割；公称直径大于100mm时，采用气割切割。切口表面应平整、无裂纹、毛刺、凸凹、熔渣、氧化物等，切口端面倾斜偏差不应大于管子外径的1.0%，且不得超过2mm。
4、 管道安装应符合下列规定：
（1）管道连接法兰密封面及密封垫片，不得有划痕、斑点、破损等缺陷；
（2）连接法兰应与管道同心，并应保证螺丝自由穿入。法兰对接应保持平行，其偏差不得大于法兰外径的1.5%，且不得大于2mm；
（3）管道连接时，不得采用强力对口、加偏垫、加多层垫等方法来******接口端面的空隙、偏斜、错口或不同心等缺陷。
5、 碳素钢管的连接应符合设计要求。设计无要求时，无缝钢管应采用焊接；镀锌钢管管径小于或等于100mm时，宜采用丝扣连接，管径大于100mm时宜采用法兰或卡箍钩槽连接。
6、管道安装用垫片，应符合下列规定：.
（1）当大直径垫片需要拼接时，不得平口对接，宜采用斜口槽接；
（2）软垫片的周边应整齐、清洁，其尺寸应与法兰密封面相符。
7、管道安装的允许偏差，应符合下列规定：
（1）管道坐标位置的允许偏差为15mm；
（2）管道安装高度的允许偏差为±15mm；
（3）水平管道平直度的允许偏差，对公称直径小于等于100mm时，应小于有效管长的0.2%，******不超过50mm；公称直径大于100mm时，应小于有效管长的0.3%，******不超过80mm；
（4）立管的垂直度的允许偏差为有效管长的0.3%，******不超过30mm；
（5）共架敷设管道时，管道间距的允许偏差，应小于10mm；交叉管道的外壁或保温层间距的允许偏差，应小于15mm。
（三）不锈钢管道安装
1、 管道安装作业不连续时，应采用洁净物品对所有的管口进行封闭处理。
2、 管材切割，宜采用机械割管刀或不锈钢带锯或等离子法进行切割。切口表面应平整、光洁，端面倾斜偏差不应大于管子外径0.05，且不得超过1mm。
3、 不锈钢管的焊接，应符合下列要求：
（1）焊缝位置、坡口加工，应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定；
（2）不锈钢管的焊接应采用手工氩弧焊，焊接时管道内充氩气进行管内保护，焊接接头应为全焊透结构；
（3）管子或管件、阀门组对时，应做到内壁平齐，对口错边量不得超过壁厚的10%，且不大于2mm；
（4）焊接前焊缝处应将油污处理干净，焊接后，焊接接头表面应进行处理。
4、不锈钢管道采用法兰连接时，法兰紧固螺栓应采用不锈钢材质；法兰垫片宜采用金属垫片或氯离子含量不得超过50×10-6的非金属垫片。
5、 不锈钢管不得直接与碳素钢支架、管卡接触，应以塑料或橡胶垫片隔离，或采用氯离子含量不超过50×10-6的非金属垫片。法兰螺栓应采用不锈钢材质，垫片应采用氯离子含量不得超过50×10-6的非金属垫片。
6、管材、管件、阀门内外表面不得有明显划痕或锈斑；其规格、型号和性能应符合设计文件的规定。
7、 管道分支宜采用三通连接，若两者相差2个管径及以上时，可采用等离子切割机或专用机械开口。采用等离子切割机机开口时，应有避免或减少高温碎渣飞溅至管内的措施。
（四） BA/EP不锈钢管道安装
1、 BA/EP不锈钢管的预制、安装作业必须在洁净工作小室内进行，作业人员应经培训合格后岗，作业时应着洁净工作服、手套。
2、管子、管件和阀门在预制、安装前后或停顿工作时，应以洁净塑料袋封口；一旦发现封口袋破损，应及时检查、处理。
3、 管子切割，直径等于或小于10mm，宜采用割管器；直径大于10mm时，宜采用专用电锯。应以纯氩（纯度99.999%）吹净管内切口的杂物、灰尘，并去除油污。
4、管道连接宜采用卡扣连接、法兰连接或焊接。采用焊接时，应符合下列规定：
（1） BA/EP管焊接应采用自动焊，焊接时管内应充纯氩气（99.999%）。焊接结束仍需继续充纯氩吹扫、冷却；
（2） BA/EP管焊接应正确地选择电极棒（钨棒）规格和焊接工艺参数。
（3）焊接前应按施工要求做出样品，检验合格后方可施焊；
（4）当改变焊接参数时，应按施工要求做样品，检验合格方可进行焊接作业。
5、管件、阀门组对时，应做到内外壁平整，对口错边不得超过壁厚的10%，且不得大于0.2mm。
6、 BA/EP管道的点焊采用手工氩弧焊。点焊前应将管段固定，检查对口合格后，充氩气保护。点焊后继续采用纯氩冷却、吹扫。
7、 BA/EP管及管件、阀门的内外表面应无尘、无油，表面平整，并不得有破损，氧化现象。
8、 每焊接完成一个焊口，应采用不锈钢刷及时******表面氧化层。焊缝形态应均匀，不得有未焊透、未融合、气孔、咬边等缺陷。
9、 BA/EP管道连接用垫片的材质，应符合设计要求或设备、附件配带；安装前应确认垫片洁净无油、无污染物。
10、 BA/EP管道安装，应按工程设计图顺气流方向依次进行，并应连续充纯氩吹扫、保护，管内纯氩压力应大于0.15MPa，直至管路系统安装结束。
（五）PP/PE管道安装
1、 洁净厂房内PP/PE管道采用热熔焊接法施工。
2、 施工中所采用的管材、附件、焊接材料等都已验收合格，符合设计要求，并做好检查记录。
3、 焊接加工或施工现场，应保持清洁。焊接作业人员应经培训合格后上岗。
4、 管道焊接的热熔接机，应根据管道直径采用相应型号、规格的焊机；焊接操作中应保持焊机、加热板的清洁、无尘。
5、管子切割宜采用专用割刀。切口端面倾斜偏差不得大于管子外径的0.5%，且不得超过1㎜。
6、 管子热熔焊接应符合下列要求：
（1）对接管段应可靠固定，对接面错边不得大于管子壁厚的10%，并不应大于1mm；
（2） 应保持热熔焊接加热板面清洁、无尘，严格控制加热设定温度；
（3） 根据不同管径，控制热熔对口压力、对接时间、冷却时间。
7、 管子热熔焊缝不得低于管子表面，一般应高于管子表面2～3mm；焊缝不得出现缺陷接口，焊缝宽度不得超过规定平均宽度的20%。
8、 管子焊接切口表面应平整、无毛刺；焊缝卷边应一致、美观，没有污物，焊接接口平滑、清洁。
9、 管子热熔焊时的切换时间，应根据管子尺寸确定，对管外径小于等于250mm时，宜小于8s；管外径大于250mm时，不超过12s为宜。
10、管子热熔焊时的加热温度，应根据材质、管壁厚度等确定，对PE管一般为200～230℃，PP管一般为195～205℃。11、 管道安装时，应根据输送介质参数，合理设置支（吊）架，并应符合下列规定：
（1）支（吊）架形式、位置，应符合工程设计要求；
（2）支（吊）架不应设在管子接头、焊缝处，其净距应大于5cm；
（3）管道上阀门应可靠固定，宜以支架支承；支（吊）架与管子之间应填入橡胶类材料。
12、 PE/PP管道安装后，应根据用途进行试验，一般应符合下列规定：
（1）用于承内压的管道，应进行压力试验，其试验压力为1.5倍工作压力，经检查以不泄漏、无异常为合格；若有严密性要求时，还应降至工作压力，保压30min，经检查不泄漏、无异常为合格；
（2）用于热流体输送时，还应进行热循环试验，以工作介质或建设方认可的介质，在工作温度及其低于工作温度下进行温度变化的试验，检查不泄漏、无异常为合格；
（3）用于常压的管道，应进行满水试验，以不泄漏、无异常为合格。
（六） PVDF管道安装
1、洁净厂房内PVDF管道采用热焊接法施工收。
2、 施工中所采用的管材、附件等均已验收合格，符合设计要求，并做好记录。
3、焊接加工应在洁净工作小室内进行，加工完后在现场组装。安装施工所用机具、工具，应做到无尘、无油污。
4、 PVDF管道施工作业人员应经培训合格后上岗，在作业过程应着规定的工作服或洁净服。
5、 管道焊接应采用自动或半自动热焊机，应按管壁厚等，选用焊接设备型号、规格及配带的机具、工具。
6、 管材、附件应密封包装，在未进行焊接加工或现场组装时，不得拆除外包装。管材、附件应平整地堆放在防雨、防晒的环境内。
7、 施工现场应核查管材、管件、阀门的外观、规格尺寸、材质和出厂合格证明文件等。
8、管子切割应采用专用割刀，切口端面平整，无伤痕、无毛刺。
9、 管子热焊接应符合下列要求：
（1）管子组对错位偏差，不得超过管子壁厚的10%；组对间隙应小于0.2mm；
（2）应保持热焊接加热板（模）清洁、无尘，严格控制所需的加热设定温度；
（3）根据管壁厚度，控制热焊的压力、温度和时间；
（4）不同管壁厚度的管道、附件不得对焊。
10、管子热焊接的焊缝应为均匀的双重焊道，双重焊道谷底应高出管子外表面，一般为管子壁厚的10%；双重焊道宽度应按管子壁厚确定，不得小于2mm。
11、管道安装后，应按下列规定进行强度试验、严密性试验；
（1） 以1.5倍设计压力进行强度试验，试验介质为纯水或高纯氮气（99.999%），试验时间3.0h，不泄漏、不降压为合格；
（2）以设计压力的1.15倍进行严密性试验，试验介质为纯水或高纯氮气（99.999%），试验时间4.0h，以无泄漏，压力降小于3%为合格。12、 管子热焊时的熔融时间，应根据管子子尺寸确定，管径为13～100mm时，宜采用6～30S。
13、 管道在焊接加工后，在现场安装时宜采用法兰连接，并应采用不锈钢螺栓。
14、管道安装时应根据输送介质参数，合理设置支架，并应符合下列规定：
（1）固定支架和支（吊）架形式、位置，应符合设计要求；
（2）支（吊）架不应设在管道伸缩节、接头或焊缝处，其净距应大于8cm；
（3）支（吊）架与管子之间应填入橡胶类材料；
（4）管道上阀门应可靠固定，一般应设有支架支承；
（5）当设计没有规定支（吊）架位置时，PVDF管可按下表设置支（吊）架。
（七） PVC管道安装
1、洁净厂房内PVC管道应用法粘接施工。
2、施工中采用的管材、附件应为同一厂家产品，并符合工程设计要求；粘接所使用的胶粘接剂宜为配套供应或得到管材生产厂家的认可。并做好施工现场验收记录。
3、 管道粘接场所，严禁明火和吸烟；通风良好，集中操作场所应设排风设施。
4、 PVC管材装卸、运输和堆放过程，不得抛投或激烈碰撞，应避免阳光曝晒。
5、 PVC管道的粘接应符合下列规定：
（1）管道粘接场所应保持较低湿度、远离火源，环境温度应高于5℃；
（2）粘接前，管材、附件的承、插口表面，应做到无尘、无油污、无水迹；管子端面应做坡口，其坡口高度为2～3mm，并应四周均匀；
（3）粘接剂涂抹，应先涂承口、后涂插口，并重复2～3次；涂抹应迅速、均匀、适时；
（4）涂抹后应迅速粘接，插入深度达到规定值后保持20min；承插间隙不大于0.3mm。
6、管材的内外表面应光滑，无气泡、裂纹，管壁厚度均匀，色泽一致。直管段挠度不得大于1%。管件造型应规矩、光滑、无毛刺。承口有锥度，并与插口配套。
7、洁净室内PVC管道的安装，应符合下列规定：
（1）管材、附件搬入洁净室前，应擦拭干净；
（2）管材按图纸要求下料后再搬入洁净室；若必须在洁净室内切割时，应配备吸尘设施；
8、管道安装时，应根据输送介质及其参数，合理设置支（吊）架，并应符合下列规定：
（1） 支（吊）架形式、位置，应符合工程设计要求；
（2）支（吊）架与管子之间，应填入软质绝缘物分隔；
（3）支（吊）架不应设在接头处，其净距应大于100mm。
9、管道安装后，应根据用途进行试验，并应符合下列规定：
（1）压力试验一般用清洁水，试验压力为1.5倍管内设计压力，保压30min不泄漏、无异常为合格；当输送介质不允许使用水进行试验时，可采用纯氮气（99.99%以上）进行压力试验，但应按规定采取防护措施，保压10min不泄漏、无异常为合格；
（2）严密性试验是在压力试验合格后，将压力降至1.1倍设计压力，保压1.0h无压力降。
（八） 配管检验和试验
1、 配管工程的检验和试验，应在施工单位自检合格的基础上进行。并按管道系统、检验批或分项工程的程序进行检验和试验，同时做好记录。
2、 洁净厂房内各类金属管道的焊缝检验，应符合下列规定；
（1）输送剧毒流体的管道焊缝，应进行100%射线照相检验，其质量不得低于Ⅱ级；
（2）输送压力大于等于0.5MPa的可燃流体、有毒流体的管道焊缝，应进行抽样射线照相检验，抽检比例不得低于10%，其质量不得低于Ⅲ级。工程设计文件有规定时，应符合设计文件要求；
（3）射线照相检验方法和质量分级标准，应符合现行国家标准《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB 50236的规定。
3、各类金属管道系统安装完毕，无损检验合格后，应按下列规定进行压力试验：
（1）压力试验应以水为试验介质。当管道的设计压力小于或等于0.8MPa时，也可采用气体为试验介质，但应采取有效的安全措施；
（2）洁净厂房中，各种高纯气体管道和干燥压缩空气管道等，宜采用气体为试验介质，并应采取有效的安全措施；
（3）洁净厂房中，各种高纯物质输送管道的试验介质，应进行净化处理；
（4）压力试验的试验压力、试验方法等，应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。
4、洁净厂房中输送剧毒液体、有毒液体，可燃液体气和高纯气体的管道系统必须进行泄漏量试验；泄漏量试验应符合下列规定：
（1）泄漏量试验应在压力试验合格后进行，试验介质宜采用空气或氮气或氦气。对输送高纯气体的管道的泄漏量试验介质，宜采用纯度>99.999%的氮气或氦气；
（2）泄漏量试验压力应为设计压力；
（3）泄漏量试验时间，应连续试验24h（氮气）或1h（氦气）；
（4）泄漏量试验工作宜与系统调试结合进行。
（5）泄漏量试验，以平均每小时泄漏率不超过1%为合格。5、洁净厂房中，各类真空管道的试验应符合下列规定：
（1）真空管道的压力试验，宜采用气压试验，试验压力为0.2MPa；
（2）压力试验合格后，真空管道应按设计文件规定进行24h的真空度试验，其增压率不得大于5%。
6、 管道在进行试验、检验合格后，应根据设计要求对管路进行吹扫和清洗，管道的吹扫和清洗应符合设计要求，当设计无要求时，可参照现行国家标准《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的规定进行。
十、消防、安全设施安装
（一）一般规定
1、消防、安全设施的安装施工，应符合下列规定：
（1）安装施工单位应具有规定的资质和安装施工许可证；
（2）相关的土建工程已施工验收合格，并办理交接手续；
（3）应按工程设计文件和相关产品出厂技术说明文件的要求进行安装；
（4）安装前，应认真核查消防、安全产品制造单位的资质、制造许可证的真实性，并符合相关规定。
（5）安装前，应对所有设备、材料进行现场检查、检验，均应符合工程设计文件的要求。8.1.2洁净厂房内的消防、安全设施的安装施工应遵守相关现行国家标准的规定。
十一、 电气设施安装
（一）一般规定
1、电气装置的施工安装应符合下列要求：
（1）电气装置安装工程相关的土建工程等己验收合格，并办理相关交接手续；
（2）施工安装应按照工程设计文件进行；
（3）所需的各种材料、线缆、配电盘（柜）、灯具、开关等已检验合格，并有相应的产品出厂合格证明和检验记录等。其型号、规格和性能等均应符合工程设计和合约的要求。
2、洁净室（区）内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜采用暗装，一般应以装饰板进行防护，其外表面应平整、光滑，不产尘、积尘，易清洁。
3、电气装置安装工程的验收，应符合下列要求：
（1）应提交的资料、文件有：变更设计的证明文件，安装过程记录，隐蔽工程记录，测试记录，设备及照明的试运行记录和设备、材料的合格证明及进场检验记录等；
（2）隐蔽工程验收合格：
（3）设各及照明试运行，并验收合格；
（4）电气接地设施验收合格。
（二） 电气线路的安装
1、电气线路、线管、线槽、桥架等的位置、规格应符合设计文件要求。
2、电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验收应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的规定。
3、电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室（区）的墙体、顶棚时，应采用气密构造，其接缝均应进行密封处理。
4、安装在洁净室（区）内装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。
5、电线、电缆穿管敷设时，穿管内不得设有接头，所有接头应设在配电箱或接线盒内。
6、电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。
7、洁净室（区）内的配电盘（柜）、接线盒的配线施工安装时，应留有满足再次接线、调线的余量。
（三）电气设备的安装1、配电盘（柜）、接线盒、插座箱和照明灯具等的位置、规格应符合设计文件要求。
2、电气设各的安装除遵守本节规定外，应符合现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的相关规定。
3、洁净室（区）内配电盘（柜）、接线盒、插座箱和照明灯具等电气设备，内外表面应平整、光滑、不积尘、易清洁，安装后应进行擦拭、无尘；
4、洁净室（区）内配电盘（柜）的安装，应符合下列规定：
（1）嵌入式安装的配电盘（柜）与墙体之间的接缝应进行密封处理；
（2）嵌入式、挂墙式盘（柜）的安装高度应符合工程设计文件要求，其底标高不宜低于1.2m.5、洁净室（区）内嵌入式安装的接线盒、插座箱墙体之间的接缝应进行密封处理。
6、 照明灯具、开关的安装，应符合下列要求：
（1） 洁净室（区）内嵌入式安装的灯具与顶棚之间应进行密封处理；
（2） 照明灯具采用吸顶安装时，灯具与顶棚之间宜采用气密性垫片密封，并在接缝处涂以密封胶：
（3） 泪珠灯安装时，应在进线处进行密封处理；
（4）嵌入式安装的开关盒，其面板应紧贴墙面，接缝处宜涂密封胶。
7、洁净室（区）内的配电盘（柜）内的配线应做到横平竖直、色别正确、标志齐全、连接可靠。
8、洁净室（区）内的接线盒、插座箱的安装应端正，并符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0-1.
（四）防雷及接地设施的安装
1、防雷设施的安装和接地体、接地线的位置、规格等，应符合工程设计文件的要求。
2、接地体与接地线或接地线与相关设备、插座的连接，宜采用焊接或镀锌螺栓可靠连接。
3、接地设施的安装除遵守本节规定外，应符合现行国家标准《电气装置安装工程的接地装置施工及验收规范》GB50169的规定。
4、接地体的施工安装，应符合下列规定：
（1）接地体及其引出线和焊接部位，应进行表面除锈、去除污物和残留焊渣，井进行防锈处理：
（2）接地体埋设深度应符合工程设计文件的要求，井不得小于1.6m;
（3）以角钢、钢管等制作的接地体，应采用垂直设置；
（4）垂直接地体之间的距离，不宜小于2倍接地体长度：水平接地体之间的距离不宜小于5m。
5、接地线的施工安装，应符合下列规定：
（1）接地线穿越洁净室墙体、顶棚和地面处，宜采用套管，并应进行密封处理；
（2）明敷的接地线不应妨碍设备的安装、维修，并便于检查；
（3）在易发生明敷接地线损伤的场所，其接地线应采取保护措施：
6、接地体的施工安装，还应符合下列规定：
（1）接地体经检测，其接地电阻应符合工程设计文件要求；作好隐蔽工程记录后，进行回填；
（2）接地体的回填土不得对其有腐蚀，并不得夹杂石块和建筑垃圾等。
7、接地线的施工安装，还应符合下列规定：
（1）在洁净室（区）内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10-15mm，与地面之间距离宜为250-300mm；
（2）接地线跨越建筑物的伸缩缝、沉降缝时，应设置补偿器；
（3）明敷接地线应作标识。
十二、噪声控制设施的
（一） 一般规定
1、噪声控制设施宜与建筑装饰、净化空调系统、排风系统等设施同步安装施工。
2、噪声控制设施的安装施工，应符合下列要求：
（1）应按工程设计文件和设备、材料技术说明书进行安装；
（2）各种设备及其附件、材料均己进行现场检查、检验，且符合工程设计文件或合约要求，并进行记录。
（二）噪声控制设施安装
1、消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并作好记录。
2、消声器的安装应符合下列规定：
（1）安装位置、方向正确，与风管（或配管）的连接严密，不得有损坏与受潮。两组同类型的消声器不应直接串联；
（2）现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求；单个消声器组件应可靠固定；消声器应设独立支吊架。
3、隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：
（1）安装位置、方向正确，与主体设备、结构的连接应严密，并可靠固定；
（2）检查门、观察窗和通风装置等应严密，无损坏或异常；活动部件灵活，符合设计要求；
（3）隔声材料均匀满布，不得有损坏或外露。
4、洁净厂房内吸声设施的施工安装，应符合下列规定：
（1）吸声设施（包括墙体、顶棚或地面）的构造、材质和规格尺寸均应符合设计要求；
（2）洁净室（区）内的吸声设施，应表面光滑、易清洁、不起尘。
5、消声器的安装，还应符合下列要求：
（1）消声器安装前应保持干净，做到无油污和浮尘；
（2）消声器、消声弯管的安装均应设独立的支（吊）架。
6、隔声罩、隔声室的安装，应符合下列要求：
（1）安装前应保持清洁，做到无油污和浮尘；
（2）安装后应对内、外表面进行擦拭，保持清洁、无尘。
7、洁净厂房内吸声设施的施工安装，应符合下列规定：
（1）吸声设施的表面应符合设计要求；
（2）吸声材料不得有损坏或明显的外露。
十三、特种设施的安装
（一）一般规定
1、 特种设施的安装施工，应符合下列规定：
（1）相关的土建工程己验收合格，并办理交接手续；
（2） 应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装；
（3）各种设备及其附件、材料（包括填充材料）已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求。认真并进行进场记录。
2、 对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应严格检查密封状况，若发现异常，应与供货商共同检查，经确认不影响使用功能后才能进行安装。
3、 对特种设施的承压设备、附件，应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。
4、有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件，应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。
5、 分类、分系统进行安装质量验收，一般宜与供应系统的试运转结合进行。
6、有防静电接地要求的设施，在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地。
（二） 高纯气、特种气体供应设施的安装
1、 管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。
2、 高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书或合约的要求，检查设备（包括填充的纯化材料等）、阀门和管件的完整性、密封性，并作检查记录。
3、纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：
（1） 搬入洁净室（区）前，应进行认真的清洁，符合要求后从规定的设备搬入口运入；
（2） 整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并可靠固定；
（3）设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，准确做好接管、接线定位；
（4）就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接；
（5）气体管道接口，应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后才能连接。
4、高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装，应符合下列要求：
（1）检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并作好记录；
（2）安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并检查接管、接线方位的正确性；
（3）气体管道接口，应在所在系统试运转合格后才能连接。
5、高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试，应符合下列要求：
（1）纯度测试介质，宜采用工作气体进行；
（2）测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同；
（3）测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量***严格且距离***长的用气设备处；
（4）纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h左右；气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析；
（5）当测试气体的进、出口的纯度及其杂质含量（一般以氧痕量浓度、水痕量浓度为代表）一致时，即认为纯度测试合格。
6、管路系统的试验应符合下列要求：
（1）高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力，均应按工程设计文件要求；
（2）试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮或氦气；试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝是否泄漏，以不漏为合格；
（3）气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。采用氦气为试验气体时，系统以设计压力保持1h，检查泄漏率不超过0.5％为合格。若不合格，检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止；
（4）管路系统的试验，一般均不包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。
7、管路吹扫应符合下列要求：
（1）应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫；
（2）管路系统应采用0.3.0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.31tm气体过滤器去除微粒；对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫；
（3）在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，以靶上未见微粒为合格；对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1％为合格。
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